現代快報訊（通訊員 惠開 記者 朱鯨潤）近日，無錫市工業和信息化局公示了《2025年蘇錫常首臺（套）重大裝備名單》，無錫惠山經開區有2家企業上榜。目前，惠山經開區共有19家企業的重大裝備入選江蘇省、蘇錫常和無錫市首臺（套）名單。
江蘇集萃華科智能裝備科技有限公司成立于2017年7月，是由江蘇省產業技術研究院、華中科技大學無錫研究院以及丁漢院士團隊共同出資成立的混合所有制新型科創企業。2020年獲批運營建設國家數字化設計與制造中心江蘇中心、江蘇省數字化設計與制造創新中心。2025年先后獲得江蘇瞪羚企業稱號、國家級專精特新“小巨人”企業稱號。“晶圓綜合測量機”是由江蘇集萃華科智能裝備科技有限公司自主研發的面向集成電路先進封裝晶圓表面質量控制的檢測裝備。技術團隊突破了晶圓測量機在機械架構、運動控制、光學系統及數據分析等環節關鍵技術瓶頸，解決了帶膜測厚的樣品測量的重復性較差、大翹曲樣品翹曲度測量測頭容易離焦、3D形貌小特征無法重復測量等多類問題，完全掌握測量機整機設計及組裝調試能力。同時，基于完全自主知識產權的測量方法與測評軟件可以根據客戶功能需求進行定制化開發，其在多項晶圓測量項目上功能優于國際同等水平裝備。目前，晶圓綜合測量機已成功應用于多家集成電路制造企業，填補了國內空白，達到國內領先水平。
無錫黎曼機器人科技有限公司是華中科技大學無錫研究院孵化的機器人公司，成立于2016年3月，為國家專精特新“小巨人”企業。“液流電池電堆自動化裝配成套設備”是公司面向國內新型儲能領域液流電池自動化高質量生產的市場需求，進行針對性研發設計的，該產品創造性改進了機器人絕對路徑補償技術，構建了機器人堆疊路徑誤差模型，機器人堆疊精度控制在±0.2mm，生產效率提升10倍以上，助力主要客戶完成全球首個GWh級液流電池工廠建設，具備了良好的技術創新性，產品自主可控程度高，掌握裝備生產的核心技術和關鍵工藝，在設計與制造技術等方面具有標志性突破或根本性改進，核心技術及關鍵部件安全可控，申請首臺套能夠提升公司產品的價值，能夠更好地提升產品的銷售市場，增強無錫智能制造的影響力。
下階段，惠山經開區將以首臺（套）重大裝備研發和示范應用為突破口，鼓勵更多企業加大創新研發投入，對制約產業發展的薄弱環節開展關鍵核心技術攻關，加快實施重大技術裝備攻關工程，推動首臺（套）研發和應用一體化協同發展，為惠山經開區發展新質生產力積蓄澎湃動能。
